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        杰萊特(蘇州)精密儀器有限公司

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        垂直型離子濺射鍍膜機 IBSV-1030P

        • 所屬分類:離子濺射鍍膜機

        • 點擊次數:
        • 發布日期:2020/04/21
        • 在線詢價
        詳細介紹

        型號:IBSV-1030P 


        特點:

        1、基板垂直放置,水平監控;

        2、轉靶左右可調,保證靶面中心和離子源最佳

              距離;

        3、基板:12吋×1 ;

        4、靶材:兩靶或三靶可更換;

        5、多光路監控;

        6、工件夾具:12吋


        工藝參數:

        1、真空系統

             a) 極限真空度:4.0×10-5Pa 


             b) 抽至10Pa所用時間 10 Pa:≦ 10 分鐘

             c) 漏率:3.0×10-5Pa m3/sec

        2、控制精度

             a) 靶材旋轉:0.005°

             b) 工件旋轉: <1000RPM

             c) 編碼器Encode: 12000lines;

                                        480000Counts/rev

             d) 膜厚修正板:0.005°

             e) 擋板:  position switch

        3、光學監控系統OMS

             a) 波長范圍:380nm~1650nm

             b) 光源穩定性: 白光< 0.1%,激光< 0.02%

             c) 波長分辨率: 白光0.2nm,激光0.1nm

             d) 波長準確度: 白光0.2nm ,激光0.1nm


              杰萊特擁有領先的真空鍍膜技術,已申請多項zhuanli。生產多種高質量鍍膜設備,同時承攬鍍膜設備的維修和改造以及鍍膜工藝咨詢服務等業務。

              公司生產的各型鍍膜機,是針對特定市場和客戶群體開發的新產品,與目前市場上普遍采用的鍍膜設備相比具備以下突出優勢:單體同步精密監控,實時膜厚分布控制。因此適合做各類高難度鍍膜產品。單片薄膜產品的面積越大,優勢越明顯。而電子束鍍膜機還增加了雙面鍍膜功能,適合半導體激光器的端面鍍膜。

              杰萊特秉承質量第一,信譽至上的理念專注鍍膜行業數十年,我公司將利用自身技術優勢,根據客戶需求,生產各種類型的高端精密鍍膜設備,打破目前在高端鍍膜機市場全部由國外企業壟斷的局面,歡迎各界人士來電咨詢!


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